国家知识产权局信息显示，三菱化学株式会社、盖列斯特有限公司申请一项名为“锡化合物、锡组合物、它们的制造方法、抗蚀剂溶液、图案形成方法、薄膜、图案化的薄膜以及基板的制造方法”的专利，公开号CN122180693A，申请日期为2024年8月。
专利摘要显示，通过均衡地具有溶解性、疏水性、抗蚀剂灵敏度等特性，作为高性能的抗蚀剂材料，提供下述锡化合物。一种锡化合物，其是具有锡原子、有机基团R以及氧配体和/或羟基配体的锡化合物，其中，在上述锡化合物一个分子中包含两种以上上述有机基团R，并且包含Sn-O-Sn结构，上述有机基团R具有1～30个碳原子。
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